根據台積電的規劃，他們今年上半年就會量產5nm EUV工藝，下半年產能會提升到7-8萬片晶圓/月，今年的產能主要是供給蘋果和華為。台積電的3nm工藝工藝今年也會啟動建設，三星更是搶先宣布了3nm GAA工藝。
根據三星的說法，與5nm製造工藝相比，3nm GAA技術的邏輯面積效率提高了35%以上，功耗降低了50%，性能提高了約30%。
為了確保在5nm之後保持優勢，三星、台積電都會投入巨額資金，去年，三星宣布了一項高達133萬億韓元（約合1118.5億美元）的投資計劃，目標是到2030年成為全球最大的「系統級晶片」（ SoC）製造商。
台積電已經開始投建30公頃（30萬平米）的新晶圓廠，投資195億美元(約合1370億元)，計劃2023年量產3nm。
3nm工藝也不是摩爾定律的終點，三星及台積電，還有Intel都在開展研究，只不過現在還很遙遠，台積電最樂觀的看法是2024年量產2nm工藝。
但是3nm及未來2nm、甚至1nm工藝，最大的問題不是技術研發，即便攻克了技術難題，這些新工藝最大的問題在於——沒人用得起，為了解決工藝問題，這些公司會投入巨額資金研發，同時建設一座3nm或者2nm級別的晶圓廠都是百億美元起的。
不光是晶圓代工廠要燒錢，晶片設計公司也要跟著燒錢，之前的報告顯示7nm晶片研發就要3億美元的投資了，5nm工藝要5.42億美元，3nm及2nm工藝還沒數據，但起步10億美元是沒跑了。
問題在於，等到3nm、2nm節點的時候，對這類高端工藝有需求並且能夠控制住成本的公司就沒幾家了，現在的5nm工藝就只有華為、蘋果這樣的土豪公司才用得起了（AMD最快也要明年才有戲），再往下發展，3nm、2nm節點恐怕全球也沒幾家用得起了，相比先進工藝帶來的性能、密度、功耗優勢，直線上漲的成本才是問題。